川岛转轮式除湿机在半导体行业洁净室的应用

更新时间：2021-06-24 | 点击率：1125

　　川岛转轮式除湿机不受空气影响，且除湿量大，特别适用于低湿条件。湿度在半导体行业中的要求半导体的生产工厂要在全年四季的气候条件下，生产车间内部要求维持稳定的环境，特别是对于生产环境的温度、湿度、空气洁净度、气流组织，压力平衡等多个空调参数都提出了严格的要求。有别于其他的恒温恒湿环境系统的要求，由于电子产品对静电的敏感性和高湿度环境对其品质的影响，其对湿度的精度提出了严格要求，对于空调系统的配置，则要求系统同时具备夏季除湿的功能和冬季加湿的功能。

　　一般半导体生产行业的温湿度条件为T=22±2℃，RH=45±5%;而对于这个温湿度要求，传统上经常采用冷冻除湿+后加热(再热)方式进行处理，并取得了成果。但这种方式却存在着一个问题，冷热的抵消和能耗的巨大浪费，特别是由于半导体行业的大新风，大排风系统、生产环境为大空间洁净环境以及目前许多厂主要集中分布在华南和华东地区的情况，使得这个问题十分突出。因此在许多半导体厂房的空调系统开始使用新风通过新风机组(冷却除湿)和川岛转轮式除湿机联合处理温湿度而后通过后空调机组处理的组合方式，达到室内送风温、湿度要求，并取得了显著收益。

　　转轮与冷却联合除湿空调系统就是将具有冷热交换的冷却除湿循环系统与转轮除湿相结合，利用制冷系统的吸热除湿进行前期除湿，而利用川岛转轮式除湿机进行深度除湿。冷却除湿在的范围内除湿效果好，且性能稳定，但当湿度要求较低时，冷却除湿的能力明显下降，此时选用转轮与冷却联合除湿系统，可以达到很好的效果。冷却除湿作为前期除湿，突出了冷却除湿机高工况下能耗低的特点，利用转轮除湿进行深度除湿，突出了转轮除湿机低温低湿条件下，不受限制且除湿量大的优点。在低湿环境条件下，采用转轮与冷却联合式除湿空调系统具有仅冷却除湿机不可比拟的优越性。